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WPCEA05 | KEK電解研磨設備の開発(2) | 162 |
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超伝導空洞製造上、電解研磨(EP)工程は空洞表面処理をするため必須かつ重要工程である。国際リニアコライダー(ILC)用高電界の空洞製造技術開発の目的から、高エネルギー加速器研究機構(KEK)のSTF棟内に、電解研磨設備(EP設備)建設を行い、平成20年3月から運用している。ILC空洞のEP処理を進めながら、平成20年度にEP処理の前、後工程として必要な処理設備を準備した。EP処理前工程として、プレEP処理、EP処理直後のフレッシュEP処理、リンス(過酸化水素水、エタノール、及び脱脂剤)処理、及び空洞組立前のフランジCP処理工程である。また本設備の状態の可視化の一環として、高圧超純水洗浄装置内の超純水に含まれる微粒子の計測など、使用状態の可視化に取り組んだ。 本報告において、KEKのEP処理工程の前、後処理工程設備の現状について概要を述べる。 |