• K. Ueno, Y. Funahashi, M. Sawabe, H. Hayano, T. Saeki
  高エネルギー加速器研究機構
• T. Suzuki
  株式会社野村鍍金

超伝導空洞製造上、電解研磨（ＥＰ）工程は空洞表面処理をするため必須かつ重要工程である。国際リニアコライダー（ILC）用高電界の空洞製造技術開発の目的から、高エネルギー加速器研究機構（KEK）のSTF棟内に、電解研磨設備（ＥＰ設備）建設を行い、平成２０年3月から運用している。ILC空洞のＥＰ処理を進めながら、平成２０年度にＥＰ処理の前、後工程として必要な処理設備を準備した。ＥＰ処理前工程として、プレＥＰ処理、ＥＰ処理直後のフレッシュＥＰ処理、リンス（過酸化水素水、エタノール、及び脱脂剤）処理、及び空洞組立前のフランジＣＰ処理工程である。また本設備の状態の可視化の一環として、高圧超純水洗浄装置内の超純水に含まれる微粒子の計測など、使用状態の可視化に取り組んだ。 本報告において、KEKのＥＰ処理工程の前、後処理工程設備の現状について概要を述べる。