• T. Kume, M. Satoh, T. Suwada, K. Furukawa
  高エネルギー加速器研究機構
• E. Okuyama
  秋田大学

全長約500mと100mの2台の線形加速器からなるKEK電子陽電子入射器では、下流の蓄積リングの高度な安定化を達成するために、既存技術では達成することが困難な高精度なアライメントと、それに伴う真直度評価方法の確立が望まれている。 ここでは、走査型の形状測定に伴う誤差要因を、ソフトウェア的な手法により分離、除去する、ソフトウェアデータムに基づく形状測定方法の、当該真直度評価への適用可能性を見積もるため、最も基本的な差分形状を検出する方法について、実験とシミュレーションに基づいた検討を行った。 その結果、実測定環境において、被測定物の差分形状が14マイクロrad(シグマ)程度の繰返し性で測定可能であることが示された。この場合、被測定物の差分形状を測定間隔2mで逐次測定することで、目標とする測定長500mにおいて、1mm(2シグマ)未満の繰返し性での真直度評価が可能と見込まれる。