• F. Ikeda, Y. Nakayama, N. Ikenaga, N. Sakudo
  金沢工業大学　ものづくり研究所

これまでプラズマイオン注入を用いた表面改質によって、PETフィルムのガスバリア特性が改善されること、またその技術を応用して比較的熱に強い枯草菌の滅菌も可能である事を見いだしてきた。表面改質によるガスバリア特性はイオン照射密度（ion dose）で変わることを明らかにしてきたが、プラズマイオン注入中にイオン照射密度の絶対値を計測することは困難であった。本発表では、イオン注入中のイオン電流密度を正確に測定するため、新たにファラデーカップを作製し、イオン照射密度の絶対値計測を試みた。実験には、プラズマイオン注入機構を取り付けたマイクロ波プラズマ発生装置を用いて表面改質と滅菌を行った。イオン照射密度は、このファラデーカップで計測したイオン電流密度を時間積分することで算出した。